张保平教授课题组在国内首次实现了电注入GaN垂直腔面发射激光器(VCSEL)的激射
发布时间:2014-07-02 浏览次数:838
基于GaN材料的半导体激光在便携式激光显示、激光打印、高密度光存储、水下通信等领域具有重要应用价值。除此之外,VCSEL还具有阈值电流低、光束质量好、可实现二维阵列等优点,有望开拓新型应用。国际上在2008年实现了电注入GaN基VCSEL的激射,至今已经有多家研究单位以及企业加入到该器件的研究中,如台湾交通大学、日本日亚化学公司和松下(先锋)公司、美国加州大学、瑞士洛桑理工大学等。
电子工程系光电子工程技术研究中心张保平教授课题组从2006年开始进行GaN基VCSEL的研究,于2008年实现了光泵条件下的激射。在后续电注入VCSEL的研制过程中,通过优化蓝宝石衬底以及高缺陷密度GaN层的去除工艺和技术、进行低光损耗高增益谐振腔结构的设计和制作、提高器件的散热效率等手段,于2014年实现了电注入GaN基VCSEL的激射,激射波长425nm,阈值电流密度1.2 kA/cm2,光谱线宽0.2nm,其中部分指标达到了国际先进水平,研究结果刊登在国际知名期刊Applied Physics Letters上。这是我国大陆首次实现电注入GaN基VCSEL的激射。